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意法半导体（ST）MEMS 技术概况以及产品规划

2010年01月29日 字体：[小 大] 点击推荐给好友
关键字：MEMS ST

MEMS 代表Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）
MEMS 含有3维结构，通过ThELMA 和VenSENS 2种特殊的工艺实现
MEMS 是微型元器件，与外界相互作用影响
在MEMS领域中，不仅只是电子在运动!

点此下载 ST MEMS 主要参数以及中国市场主要产品.pdf

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